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【簡(jiǎn)答題】后段UV燈不亮(雙頭線)如何解決?
答案:
關(guān)閉QF9,重新初始化。
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【簡(jiǎn)答題】濺鍍機(jī)抽不上真空怎樣解決?
答案:
檢查mask、靶材,清理密封圈及主倉(cāng),再檢查預(yù)抽泵油位。
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【簡(jiǎn)答題】濺鍍機(jī)短路,怎樣解決?
答案:
(1)檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方,如有,更換mask;
(2)清理靶材邊緣,清理濺鍍倉(cāng)。
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