問答題

【簡(jiǎn)答題】濺鍍機(jī)抽不上真空怎樣解決？

答案： 檢查mask、靶材，清理密封圈及主倉(cāng)，再檢查預(yù)抽泵油位。
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【簡(jiǎn)答題】濺鍍機(jī)短路，怎樣解決？
答案：

（1）檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方，如有，更換mask；
（2）清理靶材邊緣，清理濺鍍倉(cāng)。
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【簡(jiǎn)答題】7.0盤片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解決？
答案： （1）盤片干燥不好，有以下幾個(gè)原因：
①UV燈壞；
②曝光時(shí)間短；
③UV轉(zhuǎn)盤不轉(zhuǎn)；
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