單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的故障類型（）？

A.機(jī)械故障
B.電氣故障
C.軟件故障
D.外觀故障


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1.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是影響刻蝕機(jī)穩(wěn)定性的因素（）？

A.電源穩(wěn)定性
B.氣體純度
C.操作人員技術(shù)水平
D.設(shè)備外觀

2.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的軟件功能（）？

A.工藝參數(shù)設(shè)置
B.數(shù)據(jù)采集與分析
C.設(shè)備遠(yuǎn)程控制
D.圖像編輯

3.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的氣體供應(yīng)系統(tǒng)組成部分（）？

A.氣瓶
B.減壓閥
C.質(zhì)量流量計(jì)
D.攪拌器

4.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕機(jī)的刻蝕選擇性可以通過（）。

A.優(yōu)化刻蝕氣體成分
B.調(diào)整刻蝕溫度
C.改進(jìn)掩膜結(jié)構(gòu)
D.以上都是

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)成本主要包括（）。

A.零部件更換
B.能源消耗
C.人工費(fèi)用
D.以上都是