單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的軟件功能（）？

A.工藝參數(shù)設(shè)置
B.數(shù)據(jù)采集與分析
C.設(shè)備遠(yuǎn)程控制
D.圖像編輯


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1.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的氣體供應(yīng)系統(tǒng)組成部分（）？

A.氣瓶
B.減壓閥
C.質(zhì)量流量計(jì)
D.攪拌器

2.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕機(jī)的刻蝕選擇性可以通過（）。

A.優(yōu)化刻蝕氣體成分
B.調(diào)整刻蝕溫度
C.改進(jìn)掩膜結(jié)構(gòu)
D.以上都是

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)成本主要包括（）。

A.零部件更換
B.能源消耗
C.人工費(fèi)用
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的性能評估指標(biāo)不包括（）。

A.設(shè)備價(jià)格
B.刻蝕質(zhì)量
C.生產(chǎn)效率
D.穩(wěn)定性

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的安裝環(huán)境要求（）。

A.防震
B.防潮
C.通風(fēng)
D.以上都是