單項選擇題刻蝕機的尾氣處理系統(tǒng)主要作用是（）。

A.降低噪音
B.回收有用氣體
C.減少環(huán)境污染
D.提高刻蝕效率


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1.單項選擇題刻蝕機的電源類型通常為（）。

A.直流電源
B.交流電源
C.脈沖電源
D.以上都是

2.單項選擇題刻蝕過程中的掩膜材料通常要求（）。

A.耐高溫
B.耐刻蝕
C.導電性好
D.以上都是

3.單項選擇題刻蝕機的冷卻系統(tǒng)通常采用（）。

A.風冷
B.水冷
C.液氮冷卻
D.自然冷卻

4.單項選擇題刻蝕過程中的等離子體密度對刻蝕效果的影響是（）。

A.密度越高，刻蝕速率越快
B.密度越高，刻蝕選擇性越好
C.密度越高，刻蝕均勻性越差
D.密度越高，刻蝕損傷越大

5.單項選擇題刻蝕機的真空泵選擇主要依據(jù)（）。

A.抽氣速率
B.極限真空度
C.耐腐蝕性
D.以上都是