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藍(lán)寶石上硅或者尖晶石的襯底上進(jìn)行硅的異質(zhì)外延。
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名詞解釋
分子束外延(MBE)
答案:
在超高真空下,利用薄膜組分元素受熱蒸發(fā)所形成的原子或分子數(shù),直接射到沉底表面,形成外延層。
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自摻雜效應(yīng)
答案:
在外延生長過程中,襯底雜質(zhì)及其他來源雜質(zhì)因?yàn)闊嵴舭l(fā),或者化學(xué)反應(yīng)等非人為地參入外延層,改變了邊界層中的摻雜成分和濃度,從...
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