填空題實現(xiàn)超精密加工的關(guān)鍵是（），對刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃無缺陷、與工件材料的抗粘接性好，摩擦系數(shù)低。
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下面的說法中，不屬于離子束加工特點的是（）
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