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填空題超聲波加工主要是利用（）作用來去除材料的，同時產(chǎn)生的液壓沖擊和空化現(xiàn)象也加速了蝕除效果，故適于加工（）材料。

1.填空題目前金剛石刀具主要用于（）材料的精密與超精密車削加工，而對于（）材料的精密與超精密加工，則主要應用精密和超精密磨料加工。

2.填空題電火花加工蝕除金屬材料的微觀物理過程可分為（）、（）、（）和（）四個階段。

3.填空題金剛石晶體的激光定向原理是利用金剛石在不同結晶方向上（）進行的。

4.填空題精密和超精密加工機床主軸軸承的常用形式有（）和（）。

5.填空題超精密機床導軌部件要求有極高的直線運動精度，不能有爬行。除要求導軌有很高的制造精度外，還要求導軌的材料具有（）、（）和（）。