(1)檢查大小mask是否有發(fā)黑、短路的地方,如有,更換mask; (2)清理靶材邊緣,清理濺鍍倉。
(1)減小Start位置; (2)加大2P時間、壓力; (3)清潔放氣環(huán); (4)降低靜模溫度。