集成電路中半導體器件能夠加工的最小尺寸
芯片上所集成的晶體管的數(shù)目,每隔18個月翻一番。
雜質(zhì)總量恒定;雜質(zhì)分布為高斯函數(shù)分布(Gaussian);表面濃度隨著時間下降,結(jié)深隨著時間增加。