單項選擇題提高刻蝕選擇性的方法包括()。

A.優(yōu)化刻蝕氣體配比
B.控制刻蝕溫度
C.選擇合適的掩膜材料
D.以上都是


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1.單項選擇題刻蝕過程中的殘余應(yīng)力會導(dǎo)致()。

A.器件變形
B.性能下降
C.壽命縮短
D.以上都是

2.單項選擇題刻蝕機的發(fā)展趨勢是()。

A.更高精度
B.更高效率
C.更低成本
D.以上都是

3.單項選擇題為保證刻蝕質(zhì)量,刻蝕前需要對樣品進行()。

A.清洗
B.鍍膜
C.切割
D.打磨

4.單項選擇題刻蝕過程中產(chǎn)生的廢氣需要()。

A.直接排放
B.過濾處理
C.壓縮儲存
D.無需處理

5.單項選擇題刻蝕均勻性的衡量指標(biāo)是()。

A.厚度偏差
B.面積偏差
C.深度偏差
D.以上都是