多項(xiàng)選擇題影響等離子體蝕刻特性好壞的因素包括以下幾個(gè)方面()。
A.等離子體蝕刻系統(tǒng)的形態(tài)
B.等離子體蝕刻的參數(shù)
C.光刻膠
D.待蝕刻薄膜的淀積參數(shù)條件
您可能感興趣的試卷
你可能感興趣的試題
1.多項(xiàng)選擇題濕法蝕刻具有以下哪些缺點(diǎn)()。
A.化學(xué)藥品處理時(shí)人員會(huì)遭遇的安全問題
B.反應(yīng)溶液及去離子水需花費(fèi)較高成本
C.光刻膠會(huì)產(chǎn)生附著性問題
D.蝕刻不均勻
2.多項(xiàng)選擇題干法蝕刻通常指利用輝光放電方式,產(chǎn)生等離子體來進(jìn)行圖案轉(zhuǎn)移的蝕刻技術(shù)。其中等離子體含有()。
A.離子、電子
B.中性原子
C.分子
D.自由基
3.多項(xiàng)選擇題廣義而言,所謂的蝕刻技術(shù)可以分為()。
A.干蝕刻
B.濕蝕刻
C.中性蝕刻
D.無側(cè)蝕蝕刻
4.多項(xiàng)選擇題在堿性氯化銅蝕刻中,造成蝕刻過度的原因可能有()。
A.傳送速度太慢
B.pH值過高
C.蝕刻液比重偏低
D.蝕刻液溫度不足
5.多項(xiàng)選擇題在堿性氯化銅蝕刻中,造成蝕刻不足的原因可能有()。
A.傳送速度太快
B.pH值太低
C.蝕刻液溫度不足
D.噴淋壓力不足
最新試題
在煉鋼過程中為了測(cè)定鉻含量,通常將鉻單質(zhì)附著在輔助電極表面。
題型:判斷題
采用電化學(xué)治療癌癥時(shí),通入直流電可破壞癌組織周圍的酸堿性,從而破壞癌組織,達(dá)到治療的目的。
題型:判斷題
酶電池和微生物電池最大的缺陷是穩(wěn)定性差。
題型:判斷題
定位式傳感器的參比電極的作用是為了是工作電極穩(wěn)定地控制在CO的分解電位上。
題型:判斷題
電化學(xué)窗口
題型:名詞解釋
改變電極電位將導(dǎo)致金屬電極表面電荷密度變化,從而使電極表面呈現(xiàn)可調(diào)變的Lewis酸-堿特征。
題型:判斷題
簡(jiǎn)述電催化的作用機(jī)制。
題型:?jiǎn)柎痤}
不可通過調(diào)節(jié)溶液的性質(zhì)來改變有機(jī)電合成的選擇性。
題型:判斷題
宿主材料
題型:名詞解釋
顆粒電極電解槽為流動(dòng)床式電解槽,其特點(diǎn)是電極面積大,物料傳輸速度快。
題型:判斷題